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图书信息
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直拉单晶硅工艺技术
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| ISBN： | 9787122509338 |
定价： | ￥49.80 |
| 作者： | 邓浩，赵璨璨，黄有志主编 |
出版社： | 化学工业出版社 |
| 出版时间： | 2026年07月 |
版次： | 3版 |
| 开本： | 26cm |
页数： | 115页 |
中图法： | TN304.053 |
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500
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2026-10-30
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图书简介 | | 本教材以直拉单晶硅生产为主线，主要内容涵盖设备结构、工作环境要求、参数设置与使用、原辅材料的分类、处理与准备、热系统安装对中、热场调整、拆炉装料、抽空熔料、引晶放肩、转肩等径、收尾停炉、晶体生长控制系统的五大闭环控制器(直径控制、生长速度控制、液口距控制、炉压控制和液温控制)和控制互锁逻辑。此外，教材还介绍了铸锭多晶硅工艺(含设备结构、流程及优缺点)与掺杂技术(杂质效应、分凝系数、掺杂计算与方式等)。书中采用大量篇幅和现场照片阐述直拉单晶硅生产工艺的全过程，以期达到培养实用型人才的目的。理论知识方面以够用实用为原则，配合最新装备和先进生长控制系统图示说明，浅显易懂，侧重实践技能的操作。 |
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