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图书信息
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光刻机运维与装调
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| ISBN： | 9787301373040 |
定价： | ￥59.00 |
| 作者： | 高桂丽，杨怀文主编 |
出版社： | 北京大学出版社 |
| 出版时间： | 2026年10月 |
开本： | 19cm |
| 页数： | 164页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN305.7 |
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2026-09-14
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图书简介 | | 全书共有五个项目模块，以“认知－拆装－调试－操作”为主线，主要介绍了光刻机的基本概念、发展历程、核心功能、硬件构成、组态软件及工艺环境要求，系统地阐述了光刻机的拆装规范、关键子系统(如掩模板传输、晶圆搬运、光学系统等)的安装与调试方法，以及气路、电路、伺服系统、水冷系统的连接与检测技术。学生可初步掌握光刻机点位调试、视觉标定、运行操作、参数优化及日常维护保养等核心技能。 |
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