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图书信息
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微纳制造与半导体器件
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| ISBN： | 9787111759225 |
定价： | ￥69.00 |
| 作者： | 周圣军主编 |
出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版时间： | 2024年09月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 290页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN303 |
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427
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2026-02-13
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图书简介 | | 本书分为3篇，共12章，包括半导体基本原理(半导体材料、能带和PN 结)、微纳制造工艺(掺杂、外延生长技术、光刻工艺、纳米压印光刻技术、刻蚀、沉积技术)、半导体器件(器件测试分析与表征技术、Ⅲ族氮化物发光二极管、SiC压阻式压力传感器、器件仿真软件)等内容，对微纳制造和器件加工中涉及的技术与工艺进行了详细的介绍。 |
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