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图书信息
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半导体薄膜技术与物理
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| ISBN： | 9787308209489 |
定价： | ￥59.00 |
| 作者： | 叶志镇[等]编著 |
出版社： | 浙江大学出版社 |
| 出版时间： | 2020年11月 |
版次： | 3版 |
| 开本： | 26cm |
页数： | 254页 |
中图法： | TN304.055 |
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2026-06-11
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图书简介 | | 全书共分十一章，内容包括：真空技术；蒸发技术；化学气相沉积；溅射技术；脉冲激光沉积；分子束外延；液相外延；湿化学制备方法；半导体超晶格和量子阱等。 |
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