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图书信息
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半导体制造工艺控制理论
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| ISBN： | 9787561259535 |
定价： | ￥49.00 |
| 作者： | 王少熙[等]著 |
出版社： | 西北工业大学出版社 |
| 出版时间： | 2018年04月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 170页 |
中图法： | TN305 |
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2026-08-06
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图书简介 | | 本书共6章，第1章阐述半导体制造工艺控制理论概念和背景；第2章阐述单变量工序能力指数；第3章阐述多变量工序能力指数；第4章阐述常规过程控制技术；第5章阐述特殊过程控制技术；第6章给出实验设计及工艺表征的理论及应用。 |
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