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图书信息
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半导体制造工艺控制理论
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ISBN: | 9787561259535 |
定价: | ¥49.00 |
作者: | 王少熙[等]著 |
出版社: | 西北工业大学出版社 |
出版时间: | 2018年04月 |
开本: | 26cm |
页数: | 170页 |
中图法: | TN305 |
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2025-08-08
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图书简介 | 本书共6章,第1章阐述半导体制造工艺控制理论概念和背景;第2章阐述单变量工序能力指数;第3章阐述多变量工序能力指数;第4章阐述常规过程控制技术;第5章阐述特殊过程控制技术;第6章给出实验设计及工艺表征的理论及应用。 |
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