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图书信息
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晶圆级3D IC工艺技术
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ISBN: | 9787515912035 |
定价: | ¥88.00 |
作者: | (新加坡)陈全胜,(美)罗纳德·J.古特曼(Ronald J. Gutmann),(美)L.拉斐尔·赖夫(L. Rafael Reif)著 |
出版社: | 中国宇航出版社 |
出版时间: | 2016年10月 |
开本: | 22cm |
页数: | 16,443页 |
装祯: | 精装 |
中图法: | TN405 |
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3
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2025-09-08
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图书简介 | 本书内容涵盖前端工艺至后端工艺,详细介绍了各种3D集成技术的适用范围和局限性,列举了相关工艺的典型应用和潜在应用,并指出了这些关键工艺中存在的问题与挑战。 |
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