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图书信息
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半导体制造及工艺
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| ISBN： | 9787030838933 |
定价： | ￥89.00 |
| 作者： | 万逸，阚二军主编 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2025年11月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 272页 |
中图法： | TN305 |
相关供货商
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202
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2026-11-12
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图书简介 | | 本教材将重点介绍当前主流硅芯片制造中，各个单项工艺的基本原理、工艺方法、工艺用途；了解单项工艺所使用的硬件设备、主要工艺参数的检测方法以及各项技术的发展趋势。集成电路产品种类繁多，不同产品制造工艺不同，但同类型产品工艺流程相似，并且不同产品也会有相同的工艺集成技术，或者说具有相同的工艺模块，因此，本教材将对典型工艺集成技术、典型集成电路产品芯片的标准工艺流程进行介绍。 |
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