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图书信息
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精密智造:半导体器件与微纳制造工艺
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| ISBN： | 9787562976516 |
定价： | ￥81.00 |
| 作者： | 许丽著 |
出版社： | 武汉理工大学出版社 |
| 出版时间： | 2025年09月 |
开本： | 25cm |
| 页数： | 205页 |
中图法： | TN303 |
相关供货商
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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74
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库区6
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2026-11-12
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其它供货商库存合计
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108
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2026-11-12
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图书简介 | | 本书从半导体材料的认知入手，详细阐述了半导体器件的相关内容与主要类别。接着，介绍了微纳制造技术的作用及发展趋势。最后，重点讲解了半导体器件的微纳制造工艺及其在实际制造中的应用，包括集成电路芯片、MEMS和激光微纳制造等领域。本书注重理论体系与工艺实践的融合，突出关键技术节点与工艺流程的系统梳理。内容兼顾技术前沿与工程应用，展现出微纳智造在高端制造领域的深度延展。 |
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