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图书信息
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微机电系统
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ISBN: | 9787561230305 |
定价: | ¥28.00 |
作者: | 范伟政,乔大勇编著 |
出版社: | 西北工业大学出版社 |
出版时间: | 2011年03月 |
开本: | 26cm |
页数: | 207页 |
中图法: | TN4 |
印次: | 0 |
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2025-08-08
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图书简介 | 全书共分为六章,分别介绍了MEMS发展历程,MEMS理论基础,MEMS基本工艺技术,MEMS设计技术,典型微器件与微系统和微测试技术。 |
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