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图书信息
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射频高阻硅基氮化镓异质结外延器件仿真设计及制备技术
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| ISBN： | 9787561292181 |
定价： | ￥79.00 |
| 作者： | 关赫著 |
出版社： | 西北工业大学出版社 |
| 出版时间： | 2024年02月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 214页 |
中图法： | TN4 |
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30
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2025-08-08
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图书简介 | | 本书以行业内高阻硅(HRSi)基氨化镓外延和材料的研究成果为基础，以仿真设计为切入点，结合制备工艺，开展了基于高阻Si(111)衬底的氮化镓(GaN)异质结外延器件的技术研究。 |
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