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图书信息
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3D集成手册:第3卷:Volume 3:三维工艺技术:3D process technology
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| ISBN： | 9787515921648 |
定价： | ￥128.00 |
| 作者： | (美)菲利普·加洛(Philip Garrou)，(日)小柳光政(Mitsumasa Koyanagi)，(德)彼得·拉姆(Peter Ramm)著 |
出版社： | 中国宇航出版社 |
| 出版时间： | 2022年10月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 14,369页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TN405-62 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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20
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库区13/库区4/样本13
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2026-04-21
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其它供货商库存合计
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110
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2026-03-20
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图书简介 | | 3D集成手册的主要编辑是来自高科技公司和著名研究机构的顶级作者，这本书涵盖了3D工艺技术详细的细节。因此，从技术和材料科学的角度来看，本书主要关注的是硅的形成、键合和解键合、减薄、露头和背面处理等工艺。本书的最后一部分是关于评估和增强3D集成设备的可靠性，这是这种新兴技术大规模实施的先决条件。 |
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