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图书信息
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半导体制造过程的批间控制和性能监控
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| ISBN： | 9787030708175 |
定价： | ￥128.00 |
| 作者： | 郑英，王妍，凌丹著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2023年11月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 243页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN305 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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12
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库区4/库区7/样本4
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2025-10-31
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其它供货商库存合计
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202
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2025-10-31
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图书简介 | | 本书基于当前半导体及类似行业制造过程中存在的问题，介绍了多种改进的批间控制和容错控制算法，以及在其控制下的性能评估和监控。第1章介绍半导体制造过程，包括国内外研究现状和发展趋势。第2-4章介绍批间控制方法及各种衍生方法。第5-7章讨论机台故障对系统性能的影响，提出多种批间容错控制算法，采用T-S模糊模型来处理未知的随机度量时延，并建立批次过程的补偿批间算法。第8-11章介绍批间控制器对制造过程的影响，利用输入输出数据提出批间控制器的模型匹配因子，得到建模质量指标。 |
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