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图书信息
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简明光刻手册
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| ISBN： | 9787566148889 |
定价： | ￥98.00 |
| 作者： | 王云翔著 |
出版社： | 哈尔滨工程大学出版社 |
| 出版时间： | 2026年01月 |
版次： | 1版 |
| 开本： | 29cm |
页数： | 373页 |
中图法： | TN305.7-62 |
相关供货商
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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37
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库区3/样本3
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2026-09-12
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其它供货商库存合计
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194
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2026-09-11
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图书简介 | | 本书系统地介绍了光刻技术的基础理论、核心工艺、关键材料及相关应用。内容涵盖光刻技术的多个方面，主要包括六大部分：光刻技术概述、光刻技术的基础、掩模版、光刻基本工艺流程、光刻胶以及光刻相关工艺。 |
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