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图书信息
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简明光刻手册
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| ISBN: | 9787566148889 |
定价: | ¥98.00 |
| 作者: | 王云翔著 |
出版社: | 哈尔滨工程大学出版社 |
| 出版时间: | 2026年01月 |
版次: | 1版 |
| 开本: | 29cm |
页数: | 373页 |
中图法: | TN305.7-62 |
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北京人天书店有限公司
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2026-07-27
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2026-07-27
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图书简介 | | 本书系统地介绍了光刻技术的基础理论、核心工艺、关键材料及相关应用。内容涵盖光刻技术的多个方面,主要包括六大部分:光刻技术概述、光刻技术的基础、掩模版、光刻基本工艺流程、光刻胶以及光刻相关工艺。 |
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