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图书信息
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半导体芯片和制造:理论和工艺实用指南
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| ISBN: | 9787111735519 |
定价: | ¥99.00 |
| 作者: | (美)廉亚光著 |
出版社: | 机械工业出版社 |
| 出版时间: | 2023年10月 |
开本: | 24cm |
| 页数: | 213页 |
装祯: | 平装 |
中图法: | TN430.5 |
相关供货商
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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10
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库区13/库区4/库区7/样本13/样本4/样本7
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2025-12-15
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其它供货商库存合计
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215
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2025-12-15
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图书简介 | | 本书包括如下主题:基本概念,例如等离子设备中的阻抗失配和理论,以及能带和Clausius-Clapeyron方程;半导体器件和制造设备的基础知识,包括直流和交流电路、电场、磁场、谐振腔以及器件和设备中使用的部件;晶体管和集成电路,包括双极型晶体管、结型场效应晶体管和金属一半导体场效应晶体管;芯片制造的主要工艺,包括光刻、金属化、反应离子刻蚀(RIE)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、热氧化和注入等;工艺设计和解决问题的技巧,例如如何设计干法刻蚀配方,以及如何解决在博世工艺中出现的微米草问题。 |
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