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图书信息
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半导体湿法刻蚀加工技术
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| ISBN： | 9787030747440 |
定价： | ￥89.00 |
| 作者： | 陈云，陈新著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2023年09月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 143页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN305.7 |
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202
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2026-02-03
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图书简介 | | 本书全面阐述了半导体刻蚀加工及金属辅助化学刻蚀加工原理与工艺，详细讲述了硅折点纳米线、超高深径比纳米线、单纳米精度硅孔阵列三类典型微/纳米结构的刻蚀加工工艺，并对第三代半导体碳化硅的电场和金属辅助化学刻蚀复合加工、第三代半导体碳化硅高深宽比微槽的紫外光场和湿法刻蚀复合加工工艺进行了详细论述。 |
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