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图书信息
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半导体材料国家标准汇编
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| ISBN： | 9787506691567 |
定价： | ￥423.00 |
| 作者： | 中国标准出版社编 |
出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版时间： | 2023年03月 |
开本： | 30cm |
| 页数： | 739页 |
中图法： | TN304-65 |
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201
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2025-10-20
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图书简介 | | 本书收集截至2022年8月底发布的有关国家标准74项，主要包括硅多晶、锗单晶、硅片和碳化硅等国家标准。具体内容包括：非本征半导体材料导电类型测试方法；硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法；半导体单晶晶向测定方法；硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法；硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法；硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法；硅多晶气氛区熔基磷检验方法；硅多晶真空区熔基硼检验方法；硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法等。 |
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