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图书信息
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集成电路工艺实验基础
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| ISBN： | 9787566922137 |
定价： | ￥45.00 |
| 作者： | 石建军，郭颖主编 |
出版社： | 东华大学出版社 |
| 出版时间： | 2023年06月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 164页 |
中图法： | TN405-33 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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1
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泰安展厅库
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2025-10-31
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其它供货商库存合计
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297
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2025-10-31
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图书简介 | | 本书分3章，共26个实验，第1章为基础工艺，包含真空技术、硅片的清洗及氧化、光刻工艺流程实验教学、氧等离子体刻蚀等；第2章为检测测量技术，包含MSFET器件特性的测量与分析、椭圆偏振仪测薄膜厚度、紫外可见分光光度计测量亚甲基蓝溶液浓度等；第3章为工艺基础及应用，包含表面波等离子体放电实验、脉冲放电等离子体特性实验、低气压容性耦合等离子体特性实验等。 |
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