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图书信息
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等离子体刻蚀工艺及设备
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| ISBN： | 9787121450181 |
定价： | ￥98.00 |
| 作者： | 赵晋荣主编 |
出版社： | 电子工业出版社 |
| 出版时间： | 2023年02月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 14,164页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TN305.7 |
相关供货商
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北京人天书店有限公司
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库区4/样本4
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2026-07-03
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其它供货商库存合计
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722
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2026-07-03
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图书简介 | | 本书共8章，内容包括集成电路简介、等离子体基本原理、集成电路制造中的等离子体刻蚀工艺、集成电路封装中的等离子体刻蚀工艺、等离子体刻蚀机、等离子体测试和表征、等离子体仿真、颗粒控制和量产。 |
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