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图书信息
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半导体制造技术导论
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| ISBN： | 9787121188503 |
定价： | ￥99.00 |
| 作者： | (美)萧宏著 |
出版社： | 电子工业出版社 |
| 出版时间： | 2013年01月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 21,456页 |
中图法： | TN305 |
印次： | 2024.07重印 |
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北京人天书店有限公司
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2026-08-22
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640
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2026-08-21
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图书简介 | | 本书共包括15章：介绍了半导体制造工艺；基本的半导体工艺技术；半导体器件、集成电路芯片，以及早期的制造工艺技术；晶体结构、单晶硅晶圆生长，以及硅外延技术；半导体工艺中的加热过程等内容。 |
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