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图书信息
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CMOS芯片结构与制造技术
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| ISBN： | 9787121425004 |
定价： | ￥158.00 |
| 作者： | 潘桂忠编著 |
出版社： | 电子工业出版社 |
| 出版时间： | 2021年12月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 15,358页 |
中图法： | TN430.5 |
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2026-05-07
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图书简介 | | 本书从CMOS芯片结构技术出发，系统地介绍了微米﹑亚微米﹑深亚微米及纳米CMOS制造技术，内容包括单阱CMOS﹑双阱CMOS﹑LV/HV兼容CMOS﹑BiCMOS﹑LV/HV兼容BiCMOS，以及LV/HV兼容BCD制造技术。全书各章都采用由CMOS芯片主要元器件﹑制造技术及主要参数所组成的综合表，从芯片结构出发，利用计算机和它所提供的软件，描绘出芯片制造的各工序剖面结构，从而得到制程剖面结构。书中给出了100种典型CMOS芯片结构，介绍了各种典型制造技术，并描绘出50种制程剖面结构。深入地了解芯片制程剖面结构，对于电路设计﹑芯片制造﹑良率提升﹑产品质量提高及电路失效分析等都是十分重要的。 |
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