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图书信息
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微电子工艺原理与技术
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| ISBN： | 9787560390673 |
定价： | ￥78.00 |
| 作者： | 田丽[等]主编 |
出版社： | 哈尔滨工业大学出版社 |
| 出版时间： | 2021年08月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 438页 |
中图法： | TN4 |
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82
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2026-07-27
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图书简介 | | 本书分五篇，硅衬底、氧化与掺杂、薄膜制备、光刻技术、工艺集成与封装测试。内容包括：单晶硅特征；硅片的制备；外延；热氧化；扩散；离子注入；化学气相淀积等。 |
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