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图书信息
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微电子工艺原理与技术
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| ISBN: | 9787560390673 |
定价: | ¥78.00 |
| 作者: | 田丽[等]主编 |
出版社: | 哈尔滨工业大学出版社 |
| 出版时间: | 2021年08月 |
开本: | 26cm |
| 页数: | 438页 |
中图法: | TN4 |
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2026-09-11
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图书简介 | | 本书分五篇,硅衬底、氧化与掺杂、薄膜制备、光刻技术、工艺集成与封装测试。内容包括:单晶硅特征;硅片的制备;外延;热氧化;扩散;离子注入;化学气相淀积等。 |
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