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图书信息
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微机电器件设计、仿真及工程应用
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| ISBN： | 9787512434561 |
定价： | ￥49.00 |
| 作者： | 郭占社，周富强编著 |
出版社： | 北京航空航天大学出版社 |
| 出版时间： | 2021年03月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 222页 |
中图法： | TN4 |
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2025-09-02
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图书简介 | | 本书针对微机电系统基础理论、关键问题及常用硅微机械器件做了详细介绍。在此基础上，以微机电系统中常用的核心器件为对象，结合大量工程实例，采用Ansys软件，详细介绍了采用有限元仿真技术对其设计可行性进行验证的方法，包括结构的静力学仿真、模态仿真、静电仿真、热力学仿真以及疲劳仿真等。 |
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