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图书信息
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半导体制造工艺基础
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| ISBN： | 9787566419026 |
定价： | ￥59.00 |
| 作者： | (美)施敏，(美)梅凯瑞著 |
出版社： | 安徽大学出版社 |
| 出版时间： | 2020年09月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 351页 |
中图法： | TN305 |
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2025-07-10
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图书简介 | | 本书介绍了从晶体生长到集成器件和电路的完整的半导体制造技术，涵盖制造流程中主要步骤的理论和实践经验。主要内容包括：半导体材料、半导体器件、半导体工艺技术、基本工艺步骤、从熔融硅中生长单晶硅、硅的区熔法单晶生长工艺、砷化镓晶体的生长技术等。 |
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