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图书信息
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绝缘体上硅(SOI)技术:制造及应用:manufacture and applications
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| ISBN： | 9787118116366 |
定价： | ￥128.00 |
| 作者： | (法)Oleg Kononchuk，(法)Bich-Yen Nguyen等著 |
出版社： | 国防工业出版社 |
| 出版时间： | 2018年09月 |
开本： | 25cm |
| 页数： | 13,385页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TN304.9 |
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2026-06-12
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图书简介 | | 本书全面介绍绝缘体上硅(SOI)材料和器件的制造及应用技术。具体内容包括绝缘体上硅晶圆片的材料及制造技术、先进的绝缘体上硅材料及器件的电学性质表征、短沟FD MOSFET特性的建模、部分耗尽SOI技术的电路解决方案、平面FDSOI CMOS、SOI无结晶体管、SOI FinFET、利用SOI技术制造CMOS的参数波动性、SOI CMOS的ESD保护、射频及模拟应用的SOI MOSFET、超低功耗应用的SOI CMOS电路、改善性能的3D SOI集成电路、光子集成电路中的SOI技术及用于MEMS及NEMS传感器的S0I技术。 |
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