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图书信息
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半导体薄膜技术基础
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| ISBN： | 9787121328800 |
定价： | ￥49.00 |
| 作者： | 李晓干，刘勐，王奇编著 |
出版社： | 电子工业出版社 |
| 出版时间： | 2018年02月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 140页 |
中图法： | TN304.055 |
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2025-12-19
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图书简介 | | 本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍，主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术，在对各种技术进行介绍的同时，还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。 |
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