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图书信息
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集成电路工艺实验
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| ISBN: | 9787564729066 |
定价: | ¥18.00 |
| 作者: | 谭永胜,方泽波主编 |
出版社: | 电子科技大学出版社 |
| 出版时间: | 2015年04月 |
开本: | 26cm |
| 页数: | 85页 |
中图法: | TN405-33 |
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2026-04-30
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图书简介 | | 本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程作用来分配,将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的试验项目。 |
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