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图书信息
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MEMS集成设计技术及应用
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| ISBN： | 9787118095838 |
定价： | ￥99.00 |
| 作者： | 苑伟政，谢建兵，焦文龙著 |
出版社： | 国防工业出版社 |
| 出版时间： | 2014年11月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 18,294页，16页图版 |
中图法： | TN4 |
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92
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2025-12-18
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图书简介 | | 本书首先在介绍MEMS设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden的特色做了介绍，并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。最后，通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMS Garden的通用性与先进性。 |
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