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图书信息
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半导体材料标准汇编:2014版:方法标准 行标分册
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| ISBN： | 9787506677530 |
定价： | ￥170.00 |
| 作者： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会，中国标准出版社编 |
出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版时间： | 2014年11月 |
开本： | 30cm |
| 页数： | 450页 |
中图法： | TN304-65 |
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2026-04-30
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图书简介 | | 本书内容包括：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法；硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法；外延钉缺陷的检验方法；硅片边缘轮廓检验方法；高纯砷化学分析方法 极谱法测定硒量等。 |
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