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图书信息
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微纳集成电路工艺技术
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| ISBN: | 9787560677774 |
定价: | ¥36.00 |
| 作者: | 戴显英, 主编 |
出版社: | 西安电子科技大学出版社 |
| 出版时间: | 2025年09月 |
版次: | 1版 |
| 开本: | 26 |
页数: | 216页 |
| 装祯: | 平装 |
中图法: | TN405 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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1
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泰安展厅库
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2026-09-12
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其它供货商库存合计
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501
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2026-09-11
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图书简介 | | 本书共10章。第1章介绍集成电路制造的器件与工艺仿真基础,第2章至第7章介绍集成电路制造的薄膜制备、离子注入、光刻、刻蚀、金属化、化学机械平坦化等基本工艺,第8章介绍阱工艺、浅槽隔离工艺、栅极工艺、源漏工艺、金属硅化物工艺、接触孔与通孔工艺和金属互连工艺等集成电路制造的工艺集成技术,第9章至第10章介绍先进封装工艺技术、品质认证及智慧制造系统等集成电路制造后端工艺。 |
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