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图书信息
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微纳集成电路工艺技术
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| ISBN： | 9787560677774 |
定价： | ￥36.00 |
| 作者： | 戴显英, 主编 |
出版社： | 西安电子科技大学出版社 |
| 出版时间： | 2025年08月 |
版次： | 1版 |
| 开本： | 26 |
页数： | -1 |
| 装祯： | 平装 |
中图法： | TN405 |
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其它供货商库存合计
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500
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2025-10-14
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图书简介 | | 本书共10章。第1章介绍集成电路制造的器件与工艺仿真基础，第2章至第7章介绍集成电路制造的薄膜制备、离子注入、光刻、刻蚀、金属化、化学机械平坦化等基本工艺，第8章介绍阱工艺、浅槽隔离工艺、栅极工艺、源漏工艺、金属硅化物工艺、接触孔与通孔工艺和金属互连工艺等集成电路制造的工艺集成技术，第9章至第10章介绍先进封装工艺技术、品质认证及智慧制造系统等集成电路制造后端工艺。 |
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