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图书信息
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现代集成电路制造工艺:活页式
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| ISBN: | 9787564385347 |
定价: | ¥59.80 |
| 作者: | 胡晓明,周文清,张辉主编 |
出版社: | 西南交通大学出版社 |
| 出版时间: | 2021年12月 |
开本: | 26cm |
| 页数: | 255页 |
中图法: | TN405 |
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2026-02-05
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图书简介 | | 本书共分八个模块,内容包括:半导体产业和摩尔定律,硅晶圆和晶圆制备,芯片制造的污染与净化,集成电路成膜工艺,光刻中的光学与光刻机技术,光刻、蚀刻和掺杂工艺,集成电路封装,集成电路芯片测试工艺。 |
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