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图书信息
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现代集成电路制造工艺:活页式
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| ISBN： | 9787564385347 |
定价： | ￥59.80 |
| 作者： | 胡晓明，周文清，张辉主编 |
出版社： | 西南交通大学出版社 |
| 出版时间： | 2021年12月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 255页 |
中图法： | TN405 |
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2026-03-02
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图书简介 | | 本书共分八个模块，内容包括：半导体产业和摩尔定律，硅晶圆和晶圆制备，芯片制造的污染与净化，集成电路成膜工艺，光刻中的光学与光刻机技术，光刻、蚀刻和掺杂工艺，集成电路封装，集成电路芯片测试工艺。 |
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