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图书信息
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集成电路先进工艺制造
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| ISBN： | 9787547870440 |
定价： | ￥178.00 |
| 作者： | 陆卫，宋艳汝主编 |
出版社： | 上海科学技术出版社 |
| 出版时间： | 2025年03月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 436页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN405 |
相关供货商
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北京人天书店有限公司
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读买4/泰安展厅库
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2026-11-06
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1051
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2026-11-06
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图书简介 | | 本书从集成电路制造的工艺、设备、厂务3个关键内容出发，融合了集成电路制造的理论基础和前沿实践技术，深入浅出地探讨了集成电路制造的全过程。通过大量工艺设备的使用案例分析、实验数据、设备操作标准程序和教学实践视频，帮助读者掌握实际操作。此外，在介绍当前主流制造技术的同时，还深入讲解了产业界量产设备的基本原理、动力需求和应用实践，使读者理解产业界量产设备与科研设备的区别。 |
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