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图书信息
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集成电路工艺实验
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| ISBN： | 9787577013763 |
定价： | ￥42.00 |
| 作者： | 谭永胜，方泽波主编 |
出版社： | 电子科技大学出版社 |
| 出版时间： | 2025年01月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 99页 |
中图法： | TN405-33 |
相关供货商
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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33
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库区3/库区4/样本3
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2025-09-10
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其它供货商库存合计
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88
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2025-09-10
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图书简介 | | 本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程工艺作用来讲述，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的实验项目。学生真正掌握了这些实验的方法，熟悉各大型设备的实际操作，即可在工艺线上单独流片，制造出合格的、结构较简单的集成电路芯片。 |
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