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图书信息
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集成电路制造工艺项目化实践
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| ISBN： | 9787564399818 |
定价： | ￥33.00 |
| 作者： | 孟奕峰，钟丽主编 |
出版社： | 西南交通大学出版社 |
| 出版时间： | 2024年08月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 145页 |
装祯： | 活页装 |
中图法： | TN405 |
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409
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2026-03-02
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图书简介 | | 本书共分为5个项目、13个任务，涵盖了集成电路制造工艺的单晶硅制备、硅衬底制备、薄膜制备、光刻、刻蚀与离子注人等基本知识和基本操作。 |
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