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图书信息
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传感器与MEMS设计制造技术
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| ISBN： | 9787118134001 |
定价： | ￥268.00 |
| 作者： | 朱真等编著 |
出版社： | 国防工业出版社 |
| 出版时间： | 2024年07月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 21,662页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TP212 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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3
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库区3/泰安展厅库
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2026-04-23
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其它供货商库存合计
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500
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2026-04-23
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图书简介 | | 本书主要介绍了MEMS传感器的设计制造技术与应用，从MEMS的概念与典型MEMS传感器出发，阐述了硅基MEMS器件设计制造的技术原理与工艺流程，介绍了部分非硅基特殊材料传感器的制造技术，结合相关案例展望了MEMS设计制造领域设备和工艺的发展趋势。 |
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