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图书信息
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射频等离子体物理基础
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ISBN: | 9787030779922 |
定价: | ¥98.00 |
作者: | 王友年,宋远红,张钰如编著 |
出版社: | 科学出版社 |
出版时间: | 2024年05月 |
开本: | 24cm |
页数: | 442页 |
中图法: | O53 |
相关供货商
供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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46
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库区7/泰安展厅库/样本7
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2025-08-29
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其它供货商库存合计
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163
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2025-08-29
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图书简介 | 本书较为全面、系统地介绍了低气压非热平衡等离子体的物理基础和射频等离子体特性。分两大部分,其中第一部分为第1-8章,主要介绍低温等离子体的物理模型,包括概述、碰撞模型、粒子模型、动理学模型、流体力学模型、稳态输运模型、射频鞘层模型、整体模型等;第二部分为第9-14章,侧重介绍不同类型的射频放电和射频等离子体特性,如容性耦合等离子体、甚高频容性耦合等离子体中的电磁效应、柱状线圈感性耦合等离子体、平面线圈感性耦合等离子体、螺旋波等离子体和电子回旋共振微波等离子体。 |
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