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图书信息
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工业等离子体原理与应用
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| ISBN： | 9787302712497 |
定价： | ￥59.00 |
| 作者： | 赵洪阳[等]编著 |
出版社： | 清华大学出版社 |
| 出版时间： | 2026年03月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 249页 |
中图法： | O539 |
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2026-05-13
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图书简介 | | 本书以低温等离子体技术为切入点，结合作者多年来的研究进展，介绍了等离子体的基本特性、工作原理、产生方法及其在功能薄膜制备、材料改性、集成电路制造等工业领域的应用。全书共8章，内容包括电荷在电磁场中的运动、电子源与电子束、等离子体的特性、暗放电、直流辉光放电和直流电弧放电、射频放电、微波放电等。 |
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