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图书信息
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碳化硅器件工艺核心技术
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| ISBN: | 9787111741886 |
定价: | ¥189.00 |
| 作者: | (希)康斯坦丁·泽肯特斯(Konstantinos Zekentes),(英)康斯坦丁·瓦西列夫斯基(Konstantin Vasilevskiy)等著 |
出版社: | 机械工业出版社 |
| 出版时间: | 2024年01月 |
开本: | 24cm |
| 页数: | 16,411页 |
装祯: | 平装 |
中图法: | TN303 |
相关供货商
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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34
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库区4/样本4
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2025-10-30
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其它供货商库存合计
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176
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2025-10-30
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图书简介 | | 本书共9章,以碳化硅(SiC)器件工艺为核心,重点介绍了SiC材料生长、表面清洗、欧姆接触、肖特基接触、离子注入、干法刻蚀、电解质制备等关键工艺技术,以及高功率SiC单极和双极开关器件、SiC纳米结构的制造和器件集成等,每一部分都涵盖了上百篇相关文献,以反映这些方面的最新成果和发展趋势。 |
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