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图书信息
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直拉单晶硅工艺技术
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| ISBN： | 9787122298850 |
定价： | ￥32.00 |
| 作者： | 黄有志，王丽主编 |
出版社： | 化学工业出版社 |
| 出版时间： | 2017年01月 |
版次： | 2版 |
| 开本： | 26cm |
页数： | 130页 |
| 中图法： | TN304.053 |
印次： | 2023.05重印 |
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2026-06-12
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图书简介 | | 本书主要内容包括：单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、直拉单晶炉生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等。 |
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