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图书信息
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微机电系统工程基础
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| ISBN： | 9787512440227 |
定价： | ￥39.00 |
| 作者： | 蒋永刚主编 |
出版社： | 北京航空航天大学出版社 |
| 出版时间： | 2023年06月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 149页 |
中图法： | TN4 |
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2026-08-10
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图书简介 | | 本书循序渐进，体系严密，概括了基本传感原理和制造方法，讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识，描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器，详细介绍了微制造中常用的体微机械加工和表面微机械加工技术，而器件制造方法则岔入到实例研究中，讨论了与聚合物有关的。MEMS制造技术根据这些敏感与执行方法以及制造方法，选择了MEMS主要应用领域作为实例介绍，包括微流控应用、用于扫描探针显微术的器件、光MEMS，介绍了工艺集成问题和项目管理问题。 |
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