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图书信息
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图说集成电路制造工艺
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| ISBN： | 9787122432902 |
定价： | ￥99.00 |
| 作者： | 孙洪文编著 |
出版社： | 化学工业出版社 |
| 出版时间： | 2023年08月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 271页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN405-64 |
相关供货商
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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21
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库区4/库区7/样本4/样本7
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2026-07-03
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其它供货商库存合计
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500
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2026-07-03
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图书简介 | | 本书首先用轻松有趣的语言介绍了半导体行业的发展史；接着将整个芯片制造流程分为“加”“减”“乘”“除”四类，用图说的形式，全面细致地讲解了氧化、化学气相淀积、物理法沉积薄膜、扩散、离子注入、清洗硅片、刻蚀、化学机械抛光、离子注入退火、回流、制备合金、光刻等核心工艺，同时对半导体材料、净化间、化学试剂、气体、半导体设备、掩膜版等必需条件也做了介绍。 |
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