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图书信息
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集成电路制造工艺及装备
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| ISBN： | 9787547877104 |
定价： | ￥69.00 |
| 作者： | 史君，徐凯，刘立华编著 |
出版社： | 上海科学技术出版社 |
| 出版时间： | 2026年07月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 300页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN405 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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38
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库区4/泰安展厅库
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2026-11-12
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其它供货商库存合计
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694
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2026-11-12
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图书简介 | | 本书共十一章，内容涵盖集成电路制造中相关工艺理论模型、参数、流程和装备，涉及集成电路制造工艺对器件及芯片性能影响的关键因素，以及集成电路工艺发展的新工艺、新技术和新动向，兼顾理论深度与实践指导性。 |
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