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图书信息
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集成电路制造工艺
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| ISBN： | 9787121228995 |
定价： | ￥46.00 |
| 作者： | 孙萍主编 |
出版社： | 电子工业出版社 |
| 出版时间： | 2014年09月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 11,280页 |
中图法： | TN405 |
印次： | 2023.06重印 |
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603
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2026-03-25
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图书简介 | | 本书共分4个模块11章，第1个模块为基础模块，介绍集成电路工艺发展的状况及典型电路的工艺流程；第2个模块为核心模块，重点介绍薄膜制备、光刻、刻蚀、掺杂及平坦化5个单项工艺的原理、技术、设备、操作及参数测试；第3个模块为拓展模块，根据产业链状况介绍材料制备、封装测试、洁净技术；第4个模块为提升模块，通过CMOS反相器的制造流程对单项工艺进行集成应用。 |
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