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图书信息
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多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器
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| ISBN： | 9787301339053 |
定价： | ￥68.00 |
| 作者： | 陆学斌著 |
出版社： | 北京大学出版社 |
| 出版时间： | 2023年04月 |
开本： | 23cm |
| 页数： | 160页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TP212 |
相关供货商
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供货商名称
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库存量
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库区
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更新日期
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北京人天书店有限公司
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4
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库区13/库区3/库区4/样本13
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2026-10-27
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其它供货商库存合计
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657
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2026-10-27
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图书简介 | | 本书对多晶硅纳米薄膜的压阻特性及其在压力传感器上的应用进行了研究。本书共分5章，第1章主要介绍多晶硅纳米薄膜及压力传感器的研究现状，第2章主要介绍工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响，第3章主要研究多晶硅纳米薄膜的杨氏模量，第4章主要研究多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用，第5章主要介绍多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析。 |
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