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图书信息
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微电子工艺与装备技术
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| ISBN： | 9787030751928 |
定价： | ￥88.00 |
| 作者： | 夏洋，解婧，陈宝钦编著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2023年03月 |
开本： | 26cm |
| 页数： | 227页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN4 |
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2026-02-16
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图书简介 | | 本书重点介绍微电子制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。《微电子工艺与装备技术》力求让学生在了解集成电路制作基本原理与方法的基础上，紧密地联系生产实际，方便地理解这些原本复杂的工艺和流程，从而系统掌握半导体集成电路制造技术。 |
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