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图书信息
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一本书读懂芯片制程设备
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| ISBN： | 9787111720416 |
定价： | ￥99.00 |
| 作者： | 王超[等]编著 |
出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版时间： | 2023年02月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 254页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | TN43 |
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2025-10-31
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图书简介 | | 本书是围绕集成电路芯片发展和新一代信息产业技术领域(集成电路及专用设备)等重大需求，编著的集成电路芯片制程设备通识书籍。集成电路芯片作为信息时代的基石，是各国竞相角逐的“国之重器”，也是一个国家高端制造能力的综合体现。芯片制程设备作为集成电路产业链的最上游，贯穿于芯片制造全过程，是决定产业发展的最关键一环。 |
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