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图书信息
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激光热敏光刻：原理与方法：principle and method
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| ISBN： | 9787302607458 |
定价： | ￥129.00 |
| 作者： | 魏劲松著 |
出版社： | 清华大学出版社 |
| 出版时间： | 2022年08月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 11,219页 |
装祯： | 精装 |
中图法： | TN305.7 |
相关供货商
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北京人天书店有限公司
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2026-02-02
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2026-02-02
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图书简介 | | 本书首先对目前各种光刻技术的原理、方法和特点进行描述与分析比较，由此引出本书的主题——激光热敏光刻；然后详细闸述激光热敏光刻的物理过程、仪器系统、光刻策略、用于超越光斑尺寸的纳米光刻、跨尺度光刻、宽波段光刻、分辨率被限光刻、灰度图形光刻，以及图形转移的方法和相应的实验结果及应用事例，希望本书闸述的内容能从另一个角度分析和理解光刻，从而给目前的光刻技术带来变革性影响，以满足未来个性化和智能化的微电子芯片与微纳结构光电子器件的需求。 |
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