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图书信息
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精“芯”打造:集成电路的制造设备
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| ISBN: | 9787542782755 |
定价: | ¥55.00 |
| 作者: | 杨晓峰,殳峰编著 |
出版社: | 上海科学普及出版社 |
| 出版时间: | 2022年10月 |
开本: | 24cm |
| 页数: | 120页 |
装祯: | 平装 |
中图法: | TN305-49 |
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50
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2026-05-27
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图书简介 | | 本书以集成电路的发展历程为主线,结合发生的本书主要介绍集成电路制造的各种设备,以青少年熟悉的“武林高手”的形式介绍主要集成电路制造设备,如被称为集成电路制造的“四大金刚”离子注入机、光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备。从这些设备在集成电路制造中的各自作用入手,图文并茂地围绕“精”这个字,体现集成电路制造设备的技术先进性、复杂度和极具挑战性的特点。 |
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