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图书信息
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微电子机械加工系统(MEMS)技术基础
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| ISBN： | 9787502447946 |
定价： | ￥26.00 |
| 作者： | 孙以材，庞冬青编著 |
出版社： | 冶金工业出版社 |
| 出版时间： | 2009年03月 |
开本： | 21cm |
| 页数： | 194页 |
中图法： | TN405 |
印次： | 0 |
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2025-10-20
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图书简介 | | 本书中详细介绍了电学、热学和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法，为MEMS元件的设计和制造打下深厚的基础，从而使学习者能灵活应用所学知识完成各种功能的微电子元件和器件。 |
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