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图书信息
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半导体制造工艺
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| ISBN： | 9787111507574 |
定价： | ￥49.80 |
| 作者： | 张渊主编 |
出版社： | 机械工业出版社 |
| 出版时间： | 2015年01月 |
版次： | 2版 |
| 开本： | 26cm |
页数： | 252页 |
| 中图法： | TN305 |
印次： | 2022.01重印 |
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2026-06-12
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图书简介 | | 本书首先介绍了目前半导体制造工艺的发展趋势及现状，然后按照半导体器件制造工序，详细介绍了半导体制造工艺的全过程，并加入部分工艺模拟软件的介绍和操作。 |
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