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图书信息
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半导体制造工艺
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| ISBN: | 9787111507574 |
定价: | ¥49.80 |
| 作者: | 张渊主编 |
出版社: | 机械工业出版社 |
| 出版时间: | 2015年01月 |
版次: | 2版 |
| 开本: | 26cm |
页数: | 252页 |
| 中图法: | TN305 |
印次: | 2022.01重印 |
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2026-08-20
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图书简介 | | 本书首先介绍了目前半导体制造工艺的发展趋势及现状,然后按照半导体器件制造工序,详细介绍了半导体制造工艺的全过程,并加入部分工艺模拟软件的介绍和操作。 |
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