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图书信息
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薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术
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| ISBN： | 9787030699152 |
定价： | ￥78.00 |
| 作者： | 陈吉堃著 |
出版社： | 科学出版社 |
| 出版时间： | 2021年10月 |
开本： | 24cm |
| 页数： | 148页 |
装祯： | 平装 |
中图法： | O536 |
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18
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2026-06-11
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图书简介 | | 本书结合作者的长期相关研究系统介绍了低温等离子体的常用探测方法；重点结合脉冲激光沉积实例对等离子体与背景气体间复杂的物理碰撞与化学反应，以及对薄膜沉积的基础性影响关系作详细介绍。本书对于等离子体与薄膜真空沉积技术的发展具有重要的推动意义和学术参考价值。 |
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